在粒子加速器中建立真空
在粒子加速器中, 真空旨在減少粒子束與氣體的相互作用, 超高真空可以有效提高粒子壽命, 粒子束強度限制（由于壓力不穩定）, 避免未捕獲的粒子與檢測器發生相互作用.

這些粒子束的產生和維持只能在真空中進行, 而粒子加速器有著真空行業中苛刻的技術要求. 加速器應用的條件是超潔凈與高真空 10^-10 mbar, 而且用在加速器上的真空設備必須經常性地運行在強磁場和電離輻射之下.

上海伯東德國 Pfeiffer真空泵針對與復雜儀器儀表的集成和輻射問題進行優化, 從而控制運行和維護成本. 真空系統需要管理的氣源包括氣體體積, 表面解吸 ( H₂O / H₂), 真空室壁的擴散和真空系統材料的滲透.

型號	圖片	抽速	極限真空
渦輪分子泵 HiPace		10 - 2,050 l/s	最高 10^-11 mbar
多級羅茨泵 ACP		15 - 88 m³/h	最高 10^-2 mbar
渦旋泵 HiScroll		6 – 20 m³/h	最高 10^-3 mbar

在粒子加速器中測量真空
在粒子加速器中, 需要測量真空來確立真空系統的完整性, 并確定總氣壓. 一般使用熱陰極真空規和冷陰極真空規 (使用氣體電離概率來確定氣體原子的密度). 上海伯東德國 Pfeiffer 冷陰極真空規可測量 1 × 10^-2 至 10^-9 mbar 范圍內的真空, 熱陰極真空規可測量低至 10^-10 mbar 的壓力.

型號	圖片	測量范圍	測量精度	可重復性
PBR 360		5X 10^-10至 1000 hPa	± 10 % 至 ± 30 %	2 % 至 ± 5 %
IKR 251		2X10^-9 -10^-2hPa	30 % ( 1X10^-8 hPa – 1 X 10^-3 hPa)	5 % ( 1X10^-8 hPa – 1X 10^-3 hPa)

粒子加速器需要檢漏
沒有任何腔室可以完全保證真空密封, 泄漏率應足夠小, 以免對粒子加速器的極限壓力和氣體平衡產生負面影響. 上海伯東德國 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式檢漏儀到檢漏模塊, 滿足各種粒子加速器應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 提供無損泄露檢測的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s 并提供泄露數據, 數據可用于改善生產工藝. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC.

型號	ASM 340	ASM 390	ASM 306S	ASM 310	ASI 35
圖片
特點	多功能多用途前級泵可選油泵, 干泵或不配前級泵	大抽速移動式無油前級泵	吸槍嗅探無油前級泵	便攜式無油前級泵	檢漏模塊
檢漏模式	真空吸槍	真空吸槍	吸槍	真空吸槍	真空吸槍
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
最小檢測漏率 Pa m³/s	真空模式: 5x10^-13 吸槍模式: 5x10^-10 目前業界公認最小漏律	真空模式: 1X10^-13 吸槍模式: 1X10^-9	吸槍模式: 1X10^-8	真空模式: 5X10^-13 吸槍模式: 1X10^-8	真空模式: 5x10^-13 吸槍模式: 1.5x10^-9
對氦氣的抽速 L/s	2.5	10	-	1.1	總泄露模式: 6 常規模式: 1.8
前級泵抽速 m³/h	油泵 15 干泵 3.4	35	-	1.7	-
進氣口最大壓力 mbar	25	20	-	15	總泄漏測試模式 18 高靈敏度模式: 0.2 常規模式: 1
進氣口	DN 25 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	-	DN 25 ISO-KF	DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF
重量 kg	56	125	22	21	真空模塊 14.5，電子模塊 4.5 控制面板 1.5

上海伯東真空產品事業部代理德國 Pfeiffer 真空產品, 比利時 Europlasma 等離子表面設備, 美國 inTEST ThermoStream 熱流儀, 美國 KRI考夫曼離子源, 美國 HVA 高真空插板閥, 日本 NS 離子束刻蝕機. 上海伯東支持可持續發展目標, 針對不同客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發新的項目應用.